用于原子显微镜垂直轴定位测量

电涡流传感器应用领域

原子显微镜垂直轴定位、光学平台位置测量、半导体和光器件的研磨、半导体模板对齐系统、蒸镀系统、电子显微镜垂直轴定位、磁悬浮轴控制、部件研磨加工的定位、镜片控制、物质收缩测试测量、机械结构变形探测与测试。



SMT是一款专门为客户定制的OEM电涡流传感器产品，可测非导磁体和铁磁材料，有1、2或3通道可配电涡流探头。电涡流传感器材料、线性、分辨率、带宽各种性能可自行优化，埃米级分辨率，符合CE和RoHS标准，尺寸小巧，可配13种电涡流探头。





电涡流传感器主要特点：

供电电压：15～30V，

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